畢業(yè)設(shè)計(論文)開題報告 靜電梳狀驅(qū)動器的設(shè)計與建模

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1、昆明理工大學(xué)畢業(yè)設(shè)計（論文）開 題 報 告題 目： 靜電梳狀驅(qū)動器的設(shè)計與建模 學(xué) 院： 理學(xué)院 專 業(yè)： 電子信息科學(xué)與技術(shù) 學(xué)生姓名： 指導(dǎo)教師： 日 期： 2007年3月 畢業(yè)設(shè)計（論文）的主要內(nèi)容：MEMS簡介，MEMS工藝簡介，表面加工的介紹，MUMPs工藝介紹，EDA工具的使用， ANSYS軟件的建模與仿真靜電梳狀結(jié)構(gòu)作為驅(qū)動部件或檢測部件，已在微機電系統(tǒng)特別是在表面微機械器件中得到廣泛的應(yīng)用，如諧振器、微夾持器、微振動電動機等等。在微機械領(lǐng)域已經(jīng)成為靜電驅(qū)動的首選結(jié)構(gòu)。這種微驅(qū)動器是目前MOEMS中使用最廣泛的一種驅(qū)動器 ,可用于驅(qū)動可移動微鏡 、微掃描器等。本文對10對梳尺的驅(qū)

2、動器，給以設(shè)計參數(shù)，進行建模與仿真。設(shè)計（論文）的技術(shù)路線及預(yù)期目標(biāo)：通過查閱各類參考資料，使自己對驅(qū)動器有一定的了解，并著重對靜電梳狀驅(qū)動器有一定的研究。然后設(shè)計出自己的靜電梳狀驅(qū)動器，形狀，尺寸，材料，以及工藝。用ANSYS軟件先對其進行結(jié)構(gòu)建模，然后再對其進行仿真。預(yù)期目標(biāo)使靜電梳狀驅(qū)動器能夠與真實的器件一樣，實現(xiàn)自身基本功能。課題進度計劃開學(xué)時與指導(dǎo)老師交流討論擬定畢業(yè)設(shè)計題目并進行初步的資料收集把開題報告做好以及翻譯好3000字的外文資料.接下來就要對我所用的軟件進行了解和掌握，為接下來的具體操作作好理論的保障。同時進一步查閱建模和仿真方面以及其他相關(guān)的資料，并對所查資料進行分析，并

3、組織相關(guān)資料，使其使自己知道每一個知識點的大體位置，為后面的工作做好充實的準(zhǔn)備。大概在3月份末 4月份初的時候，就必須開始進行設(shè)計，建模與仿真了。在制作過程中，要一邊自己動手實際操作，同時還要把結(jié)合現(xiàn)有的資源進行整合，遇到不懂得問題要及時和老師及同學(xué)進行請教和探討，所作課題必須滿足其應(yīng)該具有的基本功能，要使其能夠順利，流暢地運行。最好能在老師和同學(xué)的幫助下，把自己制作的課題做出自己的風(fēng)格于特色，能夠達到一定的水平。要清楚自己的整個制作過程，要能清楚、明了的知道每一個知識點的來源和制作步奏，為接下來寫論文和答辯作好準(zhǔn)備。同時每隔一定時間主動向老師匯報畢業(yè)設(shè)計進展?fàn)顩r以得到老師及時的指導(dǎo)。論文撰寫

4、完成后應(yīng)該是在6月份了，離交論文的時間已經(jīng)沒有幾天了，根據(jù)指導(dǎo)老師和評閱人的指導(dǎo)意見對論文進行修改完善，在保證論文沒有比較大的失誤下，還要對論文進行比較認(rèn)真的核查和消化，為后面的畢業(yè)答辯做好充分的準(zhǔn)備。完成課題所需條件及落實措施：需要安裝有相應(yīng)環(huán)境的可以上網(wǎng)的計算機一臺。其次就是所需要的軟件，ANSYS 10.0。這個軟件，我已經(jīng)在網(wǎng)上下載，而相關(guān)的一些資料在陳老師處給我們一定的提供，這個軟件我以前沒有接觸過，很難上手，這些問題我會在課題完成過程中，通過自己看書學(xué)習(xí)和向老師請教克服完成。學(xué)校為我們提供了制作課題的計算機，相關(guān)的環(huán)境已經(jīng)安裝和調(diào)試完畢，我們自己也有計算機，所以這些硬件的問題都可以

5、得到良好的解決。學(xué)院對于我們資料的查找和論文的寫作還提供了一定的經(jīng)費，使我們能更好的完成自己的畢業(yè)設(shè)計，使我們能順利畢業(yè)。參考文獻、資料：1 LauKYMEMs the Word for Optical Beam Manipulation J1IEEE Circuits&Devices，1997, (7)：11182 W Huang，G LuAnalysis of Lateral Instability of in-plane Comb Drive MEMS Actuators Based on a Twodimensional Mode1Sensors and Actuators，2004,

6、 (113)：7885 3 C Chen，C LeeDesign and ModeKng for Comb Drive Actuatorwith Enlarged Static DisplacementSensors and Actuators，2004, (115)：5305394 R Leenberg，A W Groeneveld，M ElwenspoekComb drive Actuators for Large DisplacementsJMicromechMicroeng，1996，(6)：3203295 T Hirano，T Furuhata，K J Gabrial，H Fujit

7、aDesign，F(xiàn)abricationandOperation of Submicron Gap Comb-drive MicroactuatorsIEEE JMicroelectromech.1992.1：52606 G Zhou，P DowdTilted Folded-beam Suspension for ExtendingThe Stable Travel Range of Comb-drive Actuators. J . Micromech . Microeng . 2003 (13) 178183指導(dǎo)教師意見： 指導(dǎo)教師（簽字）： 年 月 日學(xué)院畢業(yè)設(shè)計（論文）工作領(lǐng)導(dǎo)小組意見： 組長（簽字）： 年 月 日