液晶顯示的制造工藝流程.doc

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液晶顯示的制造工藝流程 班級：11115D36 姓名：李家興 摘要：液晶顯示的制造工業(yè)流程可分為前段工位：ITO 玻璃的投入（grading）— 玻璃清洗與干燥（CLEANING）—涂光刻膠（PR COAT）—前烘烤（PREBREAK）—曝光（DEVELOP） 顯影（MAIN CURE）—蝕刻（ETCHING）—去膜（STRIP CLEAN）— 圖檢（INSP）—清洗干燥（CLEAN）—TOP 涂布（TOP COAT）—烘烤（UV CURE）— 固化（MAIN CURE）—清洗（CLEAN）— 涂取向劑（PI PRINT）—固化（MAIN CURE）— 清洗（CLEAN）—絲網(wǎng)印刷（SEAL/SHORT PRINTING）— 烘烤（CUPING FURNACE）— 噴襯墊料（SPACER SPRAY）— 對位壓合（ASSEMBLY）— 固化（SEAL MAIN CURING）。后段工位：切割（SCRIBING）— Y 軸裂片（BREAK OFF）—灌注液晶（LC INJECTION）— 封口（END SEALING）—X 軸裂片（BREAK OFF）— 磨邊——次清洗（CLEAN）—再定向（HEATING）—光臺目檢（VISUAL INSP）—電測圖形檢驗（ELECTRICAL）—二次清洗（CLEAN）— 特殊制程（POLYGON）—背?。˙ACK PRINTING）—干墨（CURE）— 貼片（POLARIZER ASSEMBLY）— 熱壓（CLEAVER）— 成檢外觀檢判（FQC）—上引線（BIT PIN）— 終檢（FINAL INSP）—包裝（PACKING）— 入庫（IN STOCK） 前言： 在學習這門可的時候我只知道液晶是一種我們平常的見到的顯示屏，從來沒考慮過這種東西的制造和歷史，現(xiàn)在我知道了液晶是一種高分子材料，因為其特殊的物理、化學、光學特性，20世紀中葉開始被廣泛應用在輕薄型的顯示技術(shù)上。人們熟悉的物質(zhì)狀態(tài)（又稱相）為氣、液、固，較為生疏的是電漿和液晶。液晶相要具有特殊形狀分子組合始會產(chǎn)生，它們可以流動，又擁有結(jié)晶的光學性質(zhì)。液晶的定義，現(xiàn)在已放寬而囊括了在某一溫度范圍可以是現(xiàn)液晶相，在較低溫度為正常結(jié)晶之物質(zhì)。而液晶的組成物質(zhì)是一種有機化合物，也就是以碳為中心所構(gòu)成的化合物。 同時具有兩種物質(zhì)的液晶，是以分子間力量組合的，它們的特殊光學性質(zhì)，又對電磁場敏感，極有實用價值。 液晶顯示器大致可分為TN-LCD;STN-LCD;TFT-LCD。 TN-LCD: TN全稱為：Twisted Nematic,，“Twisted Nematic”翻譯成中文就是“扭曲排列”的意思。 TN面板價格便宜，響應速度快 由于TN面板生產(chǎn)成本相對低廉，因此“TN”技術(shù)的液晶面板目前被廣泛運用于中、低端液晶顯示器之中。早期的TN面板，由于技術(shù)原因最高只能顯示26萬色。后來通過對TN面板的改良，首先通過“抖動”技術(shù)可以使其獲得超過1600萬種色彩的表現(xiàn)能力；其次，采用了補償膜的方法，使得TN面板的可視角度大幅度提高。目前市場上的TN面板均為此類改良型面板，可視角度都可以達到160。 在顯示的響應速度上，TN面板由于輸出灰階級數(shù)較少，液晶分子偏轉(zhuǎn)速度快，因此很容易將響應速度提高。通常，8ms以下響應速度的液晶顯示器，大多都是采用了TN面板。另外，TN屬于軟屏，用手指輕劃屏幕的話，會有類似水紋的現(xiàn)象。故此采用TN面板的液晶顯示器在使用時需要更為細心的保護，避免筆或其他尖銳的物體接觸屏幕，以免造成損壞。 在厚度不到1厘米的TN-LCD液晶顯示屏面板中，通常是由兩片大玻璃基板，內(nèi)夾著彩色濾光片、配向膜等制成的夾板，外面再包裹著兩片偏光板，它們可決定光通量的最大值與顏色的產(chǎn)生。彩色濾光片是由紅、綠、藍三種顏色構(gòu)成的濾片，有規(guī)律地制作在一塊大玻璃基板上。每一個像素是由三種顏色的單元(或稱為子像素)所組成。假如有一塊面板的分辨率為12801024，則它實際擁有38401024個晶體管及子像素?！∶總€子像素的左上角(灰色矩形)為不透光的薄膜晶體管，彩色濾光片能產(chǎn)生RGB三原色。每個夾層都包含電極和配向膜上形成的溝槽，上下夾層中填充了多層液晶分子(液晶空間不到510-6m)。在同一層內(nèi)，液晶分子的位置雖不規(guī)則，但長軸取向都是平行于偏光板的。另一方面，在不同層之間，液晶分子的長軸沿偏光板平行平面連續(xù)扭轉(zhuǎn)90度。其中，鄰接偏光板的兩層液晶分子長軸的取向，與所鄰接的偏光板的偏振光方向一致。在接近上部夾層的液晶分子按照上部溝槽的方向來排列，而下部夾層的液晶分子按照下部溝槽的方向排列。最后再封裝成一個液晶盒，并與驅(qū)動IC、控制IC與印刷電路板相連接。 在正常情況下光線從上向下照射時，通常只有一個角度的光線能夠穿透下來，通過上偏光板導入上部夾層的溝槽中，再通過液晶分子扭轉(zhuǎn)排列的通路從下偏光板穿出，形成一個完整的光線穿透途徑。而液晶顯示器的夾層貼附了兩塊偏光板，這兩塊偏光板的排列和透光角度與上下夾層的溝槽排列相同。當液晶層施加某一電壓時，由于受到外界電壓的影響，液晶會改變它的初始狀態(tài)，不再按照正常的方式排列，而變成豎立的狀態(tài)。因此經(jīng)過液晶的光會被第二層偏光板吸收而整個結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)不透光的狀態(tài)，結(jié)果在顯示屏上出現(xiàn)黑色。當液晶層不施任何電壓時，液晶是在它的初始狀態(tài)，會把入射光的方向扭轉(zhuǎn)90度，因此讓背光源的入射光能夠通過整個結(jié)構(gòu)，結(jié)果在顯示屏上出現(xiàn)白色。為了達到在面板上的每一個獨立像素都能產(chǎn)生你想要的色彩，多個冷陰極燈管必須被使用來當作顯示器的背光源。 STN-LCD: STN LCD (Super Twist Netamic LCD) 超級扭曲液晶顯示器，其中大屏幕，高驅(qū)動路數(shù)的彩色 STN LCD 主要供工業(yè)控制機顯示之用，而小屏幕， 64 路以下低驅(qū)動路數(shù)的黑白 STN LCD 主要供手機、話亭電話機、商務通、股票機、衛(wèi)星定位儀等等之用。 STN技術(shù)原理： STN型的顯示原理與TN相類似，不同的是TN扭轉(zhuǎn)式向列場效應的液晶分子是將入射光旋轉(zhuǎn)90度，而STN超扭轉(zhuǎn)式向列場效應是將入射光旋轉(zhuǎn)180~270度。 要在這里說明的是，單純的TN液晶顯示器本身只有明暗兩種情形（或稱黑白），并沒有辦法做到色彩的變化。但如果在傳統(tǒng)單色STN液晶顯示器加上一彩色濾光片（color filter），并將單色顯示矩陣之任一像素（pixel）分成三個子像素（sub-pixel），分別通過彩色濾光片顯示紅、綠、藍三原色，再經(jīng)由三原色比例之調(diào)和，也可以顯示出全彩模式的色彩。另外，TN型的液晶顯示器如果顯示屏幕做的越大，其屏幕對比度就會顯得較差，不過藉由STN的改良技術(shù)，則可以彌補對比度不足的情況。它的好處是功耗小，具有省電的最大優(yōu)勢。 TFT-LCD: TFT(Thin Film Transistor)LCD即薄膜場效應晶體管LCD，是有源矩陣類型液晶顯示器(AM-LCD)中的一種。 液晶平板顯示器，特別TFT-LCD，是目前唯一在亮度、對比度、功耗、壽命、體積和重量等綜合性能上全面趕上和超過CRT的顯示器件，它的性能優(yōu)良、大規(guī)模生產(chǎn)特性好，自動化程度高，原材料成本低廉，發(fā)展空間廣闊，將迅速成為新世紀的主流產(chǎn)品，是21世紀全球經(jīng)濟增長的一個亮點。 　 和TN技術(shù)不同的是，TFT的顯示采用“背透式”照射方式——假想的光源路徑不是像TN液晶那樣從上至下，而是從下向上。這樣的作法是在液晶的背部設置特殊光管，光源照射時通過下偏光板向上透出。由于上下夾層的電極改成FET電極和共通電極，在FET電極導通時，液晶分子的表現(xiàn)也會發(fā)生改變，可以通過遮光和透光來達到顯示的目的，響應時間大大提高到80ms左右。因其具有比TN-LCD更高的對比度和更豐富的色彩，熒屏更新頻率也更快，故TFT俗稱“真彩”。 　　相對于DSTN而言，TFT-LCD的主要特點是為每個像素配置一個半導體開關(guān)器件。由于每個像素都可以通過點脈沖直接控制。因而每個節(jié)點都相對獨立，并可以進行連續(xù)控制。這樣的設計方法不僅提高了顯示屏的反應速度，同時也可以精確控制顯示灰度，這就是TFT色彩較DSTN更為逼真的原因。 應用: 　　目前，絕大部分筆記本電腦廠商的產(chǎn)品都采用TFT-LCD。早期的TFT-LCD主要用于筆記本電腦的制造。盡管在當時TFT相對于DSTN具有極大的優(yōu)勢，但是由于技術(shù)上的原因，TFT-LCD在響應時間、亮度及可視角度上與傳統(tǒng)的CRT顯示器還有很大的差距。加上極低的成品率導致其高昂的價格，使得桌面型的TFT-LCD成為遙不可及的尤物。 不過，隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，良品率不斷提高，加上一些新技術(shù)的出現(xiàn)，使得TFT-LCD在響應時間、對比度、亮度、可視角度方面有了很大的進步，拉近了與傳統(tǒng)CRT顯示器的差距。如今，大多數(shù)主流LCD顯示器的響應時間都提高到16ms以下，這些都為LCD走向主流鋪平了道路。 主流的TFT面板: LCD的應用市場應該說是潛力巨大。但就液晶面板生產(chǎn)能力而言，全世界的LCD主要集中在中國臺灣、韓國和日本三個主要生產(chǎn)基地。亞洲是LCD面板研發(fā)及生產(chǎn)制造的中心，而臺、日、韓三大產(chǎn)地的發(fā)展情況各有不同。目前主流的TFT面板有a－Si(非晶硅薄膜晶體管）TFT技術(shù)和LTPS TFT（低溫多晶硅）TFT技術(shù)。 在a-Si方面，三個生產(chǎn)基地的技術(shù)各有千秋。日本廠商曾經(jīng)研制出分辨率高達25602048的LCD產(chǎn)品。因此，有些人認為，a－Si TFT技術(shù)完全可滿足高分辨率的產(chǎn)品需要，但是，由于技術(shù)的不成熟，它還不能滿足高速視頻影像或動畫等的需要。LTPS TFT相對可以節(jié)約成本，這對于TFT LCD的推廣有著重要意義。目前，日本廠商已經(jīng)有量產(chǎn)12.1英寸LTPS TFT LCD的能力。而中國臺灣已開發(fā)完成LTPS組件制造技術(shù)與LTPS SXGA面板技術(shù)。韓國在這方面缺少專門的設計人員和研發(fā)專家，但像三星等主要企業(yè)已經(jīng)推出了LTPS產(chǎn)品，顯示出韓國廠商的實力。不過，目前LTPS技術(shù)尚不成熟，產(chǎn)品集中在小屏幕，而且良品率低，成本優(yōu)勢尚無從談起。 與LTPS相比，a-Si無疑是目前TFT LCD的主流。日該公司的a－SiTFT投資策略上幾乎都以第三代LCD產(chǎn)品為主，通過制造技術(shù)及良品率的改善來提高產(chǎn)量，降低成本。日本一直走高端路線，其技術(shù)無疑是最先進的。由于研發(fā)力量有限，臺灣的a-Si TFT技術(shù)主要來自日本廠商的轉(zhuǎn)讓，但由于臺灣企業(yè)一般屬于勞動密集型，技術(shù)含量價低，以生產(chǎn)低端產(chǎn)品為主。韓國在a-Si方面有著強大的研發(fā)實力，比如三星公司就量產(chǎn)了全球第一臺24寸a-Si TFT LCD—240T，它的響應時間小于25ms，可以滿足一般應用需要；而可視角度達到了160度，使得LCD在傳統(tǒng)弱項上不輸給CRT。三星240T標志著大屏幕TFT LCD技術(shù)走向成熟，也向世人展示了韓國廠商的實力不容置疑。 國際技術(shù)水平和現(xiàn)狀: TFT-LCD技術(shù)已經(jīng)成熟，長期困擾液晶平板顯示器的三大難題：視角、色飽和度、亮度已經(jīng)獲得解決。采用多區(qū)域垂直排列模式（MVA模式）和面內(nèi)切換模式（IPS模式）使液晶平板顯示的水平視角都達到了170度。MVA模式還使響應時間縮短到20ms。 (a) TN+Field 　　從技術(shù)角度來看，TN+Field解決方案是最簡單的一種，TFT顯示器制造商將過去用于老式LCD顯示器的扭曲向列（TN:Twisted Nematic）技術(shù)，同TFT技術(shù)相結(jié)合，從而有了TN+Field技術(shù)。這項技術(shù)主要就是通過顯示屏覆蓋一層特殊的薄膜，來擴大可視角度——可以把可視角度從90度擴大到大約140度。如圖6所示：TN+Field同標準TFT顯示器一樣都是通過排列液晶分子來實現(xiàn)對圖象的控制，它在上表面覆蓋一層薄膜來增大可視角度。 　　不過TFT顯示器相對弱的對比度和緩慢的反應時間這些缺點仍然沒有改變。所以TN+FIELD這種方式并不是做好的解決方案，除了它的造價最便宜之外沒有任何可取之處。 (b)IPS（In-Plane Switching） 　　IPS就是In-Plane Switching的簡稱，意思就是平板開關(guān)，又稱為Super TFT。最早由Hitachi(日立)開發(fā)，現(xiàn)在NEC和Nokia也使用此項技術(shù)制成顯示器。這項技術(shù)同扭曲向列顯示器（TN-Film）的不同就在于液晶分子相對于基本排列方式不同，當加上電壓之后液晶分子與基板平行排列。 IPS技術(shù)和傳統(tǒng)的液晶顯示器的對比 采用這項技術(shù)的顯示器的可視角度達到了170度，已經(jīng)同陰極射線管的可視角度相當了，不過這項技術(shù)也有缺點：為了能讓液晶分子平行排列，電極不能象扭曲向列顯示器（TN-Film）一樣，在兩層基板上都有，只能放在低層的基板上——這樣導致的直接結(jié)果就是顯示器的亮度和對比度明顯的下降，為了提高亮度和對比度，只有增強背光光源的亮度。這樣一來，反應時間和對比度相對于普通TFT顯示器而言更難提高了。所以這項技術(shù)似乎也不是最好的解決方案。 (c)MVA(Multi-Domain Vertical Alignment) 　　MVA多區(qū)域垂直排列技術(shù)，是由日本富士通（Fujitsu）公司開發(fā)的，單從技術(shù)的角度看，它兼顧了可視角度和反應時間兩個方面。找到了一個折中的解決方法。MVA技術(shù)使得可視角達到了160度—— 雖然不如IPS能達到的170度的可視角度，不過它`仍然是好的，因為這項技術(shù)能夠提供更好的對比度和更短的反應時間。 　　MVA中的M代指“multi-domains” —— 多區(qū)域的意思。圖8所示，那些紫色的突起（protrusion）構(gòu)成了所謂的區(qū)域。富士通目前生產(chǎn)的MAV顯示器中一般就有這樣4個區(qū)域。 　　VA是“vertical alignment”的簡稱，意為垂直排列。不過單從字面上看會產(chǎn)生一些誤解，因為液晶分子并不是如圖所示的“突起”（protrusion）完全垂直。請看圖8所示黑色示意圖。當電壓生成一個電場時，液晶分子如圖相互平行排列，這樣背光光源就能穿過，而且能將光線向各個方向發(fā)散，從而擴大了可視角度。 　　另外，MVA還提供了比IPS和TN+Film技術(shù)都快的反應時間，這對于取得良好的視頻回收和殘視覺效果都是非常重要的。MVA液晶顯示器的對比度也有所提高，不過同樣也會隨著可視度的變換而變化。 　　在采用光學補償彎曲技術(shù)（OCB）的基礎上發(fā)展起來的場序列全彩色（FSFC）LCD技術(shù)不僅取消了占成本三分之一的彩色濾光膜（CF），還可使分辨率提高3倍，透過率提高5倍，同時簡化了工藝，降低了成本。彩膜技術(shù)和背光源技術(shù)的發(fā)展使TFT-LCD的彩色再現(xiàn)能力達到甚至超過了CRT。作為商品顯示器TFT-LCD的主要技術(shù)指標綜合性能在各類顯示器件中是最優(yōu)秀的，特別是TFT-LCD產(chǎn)品的大規(guī)模生產(chǎn)技術(shù)的完善，多品種、多系列的產(chǎn)品發(fā)展空間，應用范圍無所不至。最近韓國三星電子已經(jīng)生產(chǎn)出了38英寸單一基板的TFT-LCD液晶電視和40英寸TFT-LCD顯示器，以其優(yōu)良的性能向公認的應為PDP霸占的大尺寸彩電市場進軍。 LCD是所有顯示器中耗電最低的產(chǎn)品，以13.3英寸XGA TFT-LCD為例，其功耗1998年為4.4瓦，1999年為3.3瓦，到2001年將小于2.5瓦，特別是反射型TFT-LCD的研制成功，由于取消了背光源，其功耗比透射式TFT-LCD低了一個數(shù)量級。同時由于幾改進，低溫激光退火多晶硅（P-Si）技術(shù)成熟，以至最近發(fā)展起來的單晶硅技術(shù)使得TFT-LCD的響應速度更快，電路集成化水平更高，鎖相環(huán)技術(shù)的應用，一種功能更新，更全的周邊電路的采用，系統(tǒng)集成（System on glass）技術(shù)的發(fā)展，使得TFT-LCD更輕、更薄。13.3英寸TFT-LCD其厚度在1998年為7.2mm，1999年為5.5mm，2001年降到5mm以下，其重量1998年為580克，1999年為450克，到2001年降到400克以下。TFT-LCD的大生產(chǎn)技術(shù)也已成熟，已實現(xiàn)全自動生產(chǎn)，其第五代生產(chǎn)線在2002年將進入實用生產(chǎn)階段，生產(chǎn)成本將不斷下降。TFT-LCD在技術(shù)上的成熟與進步以及其特有的性能優(yōu)勢確定了TFT-LCD最終取代CRT的格局。 TFT的技術(shù)特點: TFT技術(shù)是二十世紀九十年代發(fā)展起來的，采用新材料和新工藝的大規(guī)模半導體全集成電路制造技術(shù)，是液晶（LC）、無機和有機薄膜電致發(fā)光（EL和OEL）平板顯示器的基礎。TFT是在玻璃或塑料基板等非單晶片上（當然也可以在晶片上）通過濺射、化學沉積工藝形成制造電路必需的各種膜，通過對膜的加工制作大規(guī)模半導體集成電路（LSIC）。采用非單晶基板可以大幅度地降低成本，是傳統(tǒng)大規(guī)模集成電路向大面積、多功能、低成本方向的延伸。在大面積玻璃或塑料基板上制造控制像元（LC或OLED）開關(guān)性能的TFT比在硅片上制造大規(guī)模IC的技術(shù)難度更大。對生產(chǎn)環(huán)境的要求（凈化度為100級），對原材料純度的要求（電子特氣的純度為99.999985%），對生產(chǎn)設備和生產(chǎn)技術(shù)的要求都超過半導體大規(guī)模集成，是現(xiàn)代大生產(chǎn)的頂尖技術(shù)。其主要特點有： （1）大面積 九十年代初第一代大面積玻璃基板（300mm400mm）TFT-LCD生產(chǎn)線投產(chǎn)，到2000年上半年玻璃基板的面積已經(jīng)擴大到了680mm880mm），而預計在09年啟動的日本SHARP在大阪投資的10代線玻璃基板尺寸達到了2880mmX3080mm,該尺寸玻璃面板可裁切15片42寸的液晶電視。 （2）高集成度 用于液晶投影的1.3英寸TFT芯片的分辨率為XGA含有百萬個象素。分辨率為SXGA（12801024）的16.1英寸的TFT陣列非晶體硅的膜厚只有50nm，以及TAB ON GLASS和SYSTEM ON GLASS技術(shù)，其IC的集成度，對設備和供應技術(shù)的要求，技術(shù)難度都超過傳統(tǒng)的LSI。 （3）功能強大 TFT最早作為矩陣選址電路改善了液晶的光閥特性。對于高分辨率顯示器，通過0-6V范圍的電壓調(diào)節(jié)（其典型值0.2到4V），實現(xiàn)了對象元的精確控制，從而使LCD實現(xiàn)高質(zhì)量的高分辨率顯示成為可能。TFT-LCD是人類歷史上第一種在顯示質(zhì)量上超過CRT的平板顯示器?，F(xiàn)在人們開始把驅(qū)動IC集成到玻璃基板上，整個TFT的功能將更強大，這是傳統(tǒng)的大規(guī)模半導體集成電路所無法比擬的。 （4）低成本 玻璃基板和塑料基板從根本上解決了大規(guī)模半導體集成電路的成本問題，為大規(guī)模半導體集成電路的應用開拓了廣闊的應用空間。 （5）工藝靈活 除了采用濺射、CVD（化學氣相沉積）MCVD（分子化學氣相沉積）等傳統(tǒng)工藝成膜以外，激光退火技術(shù)也開始應用，既可以制作非晶膜、多晶膜，也可以制造單晶膜。不僅可以制作硅膜，也可以制作其他的Ⅱ-Ⅵ族和Ⅲ-Ⅴ族半導體薄膜。 （6）應用領域廣泛 以TFT技術(shù)為基礎的液晶平板顯示器是信息社會的支柱產(chǎn)業(yè)，也技術(shù)可應用到正在迅速成長中的薄膜晶體管有機電致發(fā)光（TFT-OLED)平板顯示器也在迅速的成長中。 主要優(yōu)點: 隨著九十年代初TFT技術(shù)的成熟，彩色液晶平板顯示器迅速發(fā)展，不到10年的時間，TFT-LCD迅速成長為主流顯示器，這與它具有的優(yōu)點是分不開的。主要特點是： （1）使用特性好 低壓應用，低驅(qū)動電壓，固體化使用安全性和可靠性提高；平板化，又輕薄，節(jié)省了大量原材料和使用空間；低功耗，它的功耗約為CRT顯示器的十分之一，反射式TFT-LCD甚至只有CRT的百分之一左右，節(jié)省了大量的能源；TFT-LCD產(chǎn)品還有規(guī)格型號、尺寸系列化，品種多樣，使用方便靈活、維修、更新、升級容易，使用壽命長等許多特點。顯示范圍覆蓋了從1英寸至40英寸范圍內(nèi)的所有顯示器的應用范圍以及投影大平面，是全尺寸顯示終端；顯示質(zhì)量從最簡單的單色字符圖形到高分辨率，高彩色保真度，高亮度，高對比度，高響應速度的各種規(guī)格型號的視頻顯示器；顯示方式有直視型，投影型，透視式，也有反射式。 （2）環(huán)保特性好 無輻射、無閃爍，對使用者的健康無損害。特別是TFT-LCD電子書刊的出現(xiàn)，將把人類帶入無紙辦公、無紙印刷時代，引發(fā)人類學習、傳播和記載文明方式的革命。 （3）適用范圍寬 從-20℃到+50℃的溫度范圍內(nèi)都可以正常使用，經(jīng)過溫度加固處理的TFT-LCD低溫工作溫度可達到零下80℃。既可作為移動終端顯示，臺式終端顯示，又可以作大屏幕投影電視，是性能優(yōu)良的全尺寸視頻顯示終端。 （4）制造技術(shù)的自動化程度高 大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)特性好。TFT-LCD產(chǎn)業(yè)技術(shù)成熟，大規(guī)模生產(chǎn)的成品率達到90%以上。 （5）TFT-LCD易于集成化和更新?lián)Q代 是大規(guī)模半導體集成電路技術(shù)和光源技術(shù)的完美結(jié)合，繼續(xù)發(fā)展?jié)摿艽?。目前有非晶、多晶和單晶硅TFT-LCD，將來會有其它材料的TFT，既有玻璃基板的又有塑料基板。