【材料課件】08透射電子顯微鏡

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1、Click to edit Master title style,Click to edit Master text styles,Second level,Third level,Fourth level,Fifth level,*,*,單擊此處編輯母版標(biāo)題樣式,單擊此處編輯母版文本樣式,第二層,第三層,第四層,第五層,*,HNU-ZLP,*,第八章 透射電子顯微鏡,透射電鏡的結(jié)構(gòu)原理,射透電鏡的主要性能,10/22/2024,1,2.1 透射電鏡的結(jié)構(gòu)原理,目前，風(fēng)行于世界的大型電鏡，分辨本領(lǐng)為23 埃，電壓為,100500kV，放大倍數(shù)501200000倍。由于材料研究強(qiáng)調(diào)綜合分析，電鏡

2、逐漸增加了一些其它專門儀器附件，如掃描電鏡、掃描透射電鏡、X射線能譜儀、電子能損分析等有關(guān)附件，使其成為微觀形貌觀察、晶體結(jié)構(gòu)分析和成分分析的綜合性儀器，即分析電鏡。它們能同時(shí)提供試樣的有關(guān)附加信息。,高分辨電鏡的設(shè)計(jì)分為兩類：一是為生物工作者設(shè)計(jì)的，具有最佳分辨本領(lǐng)而沒有附件；二是為材料科學(xué)工作者設(shè)計(jì)的，有附件而損失一些分辨能力。另外，也有些設(shè)計(jì)，在高分辨時(shí)采取短焦距，低分辨時(shí)采取長焦距。,我們這里先看一看一些電鏡的外觀圖片，再就電鏡共同的結(jié)構(gòu)原理和日趨普及的分析電鏡的有關(guān)部分做一介紹。,10/22/2024,2,HNU-ZLP,日本日立公司H700,電子顯微鏡，配有雙傾臺(tái),，并帶有7010

3、掃描附件和,EDAX9100能譜。該儀器,不但適合于醫(yī)學(xué)、化學(xué)、,微生物等方面的研究，由,于加速電壓高，更適合于,金屬材料、礦物及高分子,材料的觀察與結(jié)構(gòu)分析，,并能配合能譜進(jìn)行微區(qū)成,份分析。,分 辨 率：0.34nm,加速電壓：75KV200KV,放大倍數(shù)：25萬倍,能 譜 儀：EDAX9100,掃描附件：S7010,10/22/2024,3,HNU-ZLP,CM200-FEG場發(fā)射槍電鏡,JEM-2010透射電鏡,加速電壓200KVLaB6燈絲點(diǎn)分辨率 1.94,加速電壓20KV、40KV、80KV、,160KV、200KV可連續(xù)設(shè)置加速電壓熱場發(fā)射槍晶格分辨率 1.4點(diǎn)分辨率 2.4最

4、小電子束直徑1nm能量分辨率約1ev傾轉(zhuǎn)角度=20度=25度,10/22/2024,4,HNU-ZLP,JEM-2010透射電鏡,加速電壓200KVLaB6燈絲點(diǎn)分辨率 1.94,EM420透射電子顯微鏡,加速電壓20KV、40KV、60KV、,80KV、100KV、120KV晶格分辨率 2.04點(diǎn)分辨率 3.4最小電子束直徑約2nm傾轉(zhuǎn)角度=60度=30度,10/22/2024,5,HNU-ZLP,Philips CM12透射電鏡,加速電壓20KV、40KV、60KV、80KV,、100KV、120KVLaB6或W燈絲晶格分辨率 2.04點(diǎn)分辨率 3.4最小電子束直徑約2nm；傾轉(zhuǎn)角度=20

5、度=25度,CEISS902電鏡,加速電壓50KV、80KVW燈絲頂插式樣品臺(tái)能量分辨率1.5ev傾轉(zhuǎn)角度=60度轉(zhuǎn)動(dòng)4000,10/22/2024,6,HNU-ZLP,2,1,3,4,4,5,5,6,7,8,9,10,11,12,13,14,15,16,16,17,18,19,20,圖21,10/22/2024,7,HNU-ZLP,光源,中間象,物鏡,試樣,聚光鏡,目鏡,毛玻璃,電子鏡,聚光鏡,試樣,物鏡,中間象,投影鏡,觀察屏,照相底板,照相底板,圖22,10/22/2024,8,HNU-ZLP,電鏡一般是電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和供電系統(tǒng)三大部分組成。,一.電子光學(xué)系統(tǒng),圖2-1 是近代大

6、型電子顯微鏡的剖面示意圖，從結(jié)構(gòu)上看，和,光學(xué)透鏡非常類似。,1.照明部分,（1）陰極：又稱燈絲，一般是由0.030.1毫米的鎢絲作成V,或Y形狀。,（2）陽極：加速從陰極發(fā)射出的電子。為了安全，一般都是,陽極接地，陰極帶有負(fù)高壓。,（3）控制極：會(huì)聚電子束；控制電子束電流大小，調(diào)節(jié)象的,亮度。,陰極、陽極和控制極決定著電子發(fā)射的數(shù)目及其動(dòng)能，因此，人們習(xí)慣上把它們通稱為“電子槍”。,（4）聚光鏡：由于電子之間的斥力和陽極小孔的發(fā)散作用，,電子束穿過陽極小孔后，又逐漸變粗，射到試樣上仍然過大。聚光,鏡就是為克服這種缺陷加入的，它有增強(qiáng)電子束密度和再一次將發(fā),散的電子會(huì)聚起來的作用。,10/22

7、/2024,9,HNU-ZLP,陰極（接,負(fù)高壓）,控制極（比陰極,負(fù)1001000伏）,陽極,電子束,聚光鏡,試樣,圖2-3 照明部分示意圖,10/22/2024,10,HNU-ZLP,2.成象放大部分,這部分有試樣室、物鏡、中間鏡、投影鏡等組成。,（1）試樣室：位于照明部分和物鏡之間，它的主要作用是通過,試樣臺(tái)承載試樣，移動(dòng)試樣。,（2）物鏡：電鏡的最關(guān)鍵的部分，其作用是將來自試樣不同點(diǎn),同方向同相位的彈性散射束會(huì)聚于其后焦面上，構(gòu)成含有試樣結(jié)構(gòu),信息的散射花樣或衍射花樣；將來自試樣同一點(diǎn)的不同方向的彈性,散射束會(huì)聚于其象平面上，構(gòu)成與試樣組織相對(duì)應(yīng)的顯微象。投射,電鏡的好壞，很大程度上取

8、決于物鏡的好壞。,物鏡的最短焦距可達(dá)1毫米，放大倍數(shù)約為300倍，最佳分辨本,領(lǐng)可達(dá)1埃，目前，實(shí)際的分辨本領(lǐng)為2埃。,為了減小物鏡的球差和提高象的襯度，在物鏡極靴進(jìn)口表面和,物鏡后焦面上還各放一個(gè)光闌，物鏡光闌（防止物鏡污染）和襯度,光闌（提高襯度）,在分析電鏡中，使用的皆為雙物鏡加輔助透鏡，試樣置于上下,物鏡之間，上物鏡起強(qiáng)聚光作用，下物鏡起成象放大作用，輔助透,鏡是為了進(jìn)一步改善場對(duì)稱性而加入的。,10/22/2024,11,HNU-ZLP,（3）中間鏡和投影鏡：,中間鏡和投影鏡和物鏡相似，但焦距較長。它的作用是將來自 物鏡的的電子象再放大，最后顯示在觀察屏上，得到高放大倍率的 電子象。

9、,（4）相對(duì)位置,試樣、物鏡、中間鏡、投影鏡四者之間的相對(duì)位置是：試樣放在物鏡的物平面上（物鏡的物平面接近物鏡的前焦面），物鏡的象平面是中間鏡的物平面，中間鏡的象平面是投影鏡的物平面。物鏡、中間鏡、投影鏡三者結(jié)合起來，給出電鏡的總放大倍率。,（5）中間鏡的衍射作用,中間鏡除了起放大作用外，還起衍射作用。這是因?yàn)橥ㄟ^減弱中間的電流，增大其物距，使其物平面與物鏡的后焦面相重，這樣就可以把物鏡后焦面上形成的電子的電子衍射花樣投射到中間鏡的象平面。,10/22/2024,12,HNU-ZLP,近代電鏡一般都有兩個(gè)中間鏡、兩個(gè)投影鏡。30萬倍以上成象時(shí)，物鏡、兩個(gè)中間鏡和兩個(gè)投影鏡同時(shí)起放大作用。低倍時(shí)

10、，關(guān)掉物鏡，第一個(gè)中間鏡對(duì)試樣進(jìn)行第一次成象，這樣因?yàn)槲锞嗉娱L，加之改變投影鏡的電流，總的放大倍數(shù)可在儀一千倍以下。,圖2-4、2-5是三級(jí)放大和極低放大率成象示意圖。,三級(jí)放大成象示意圖,10/22/2024,13,HNU-ZLP,圖2-4 （a）高放大率,（b）衍射,（c）低放大率,物,物鏡,衍射譜,一次象,中間鏡,二次象,投影鏡,三次象,（熒光屏）,選區(qū)光闌,10/22/2024,14,HNU-ZLP,物鏡關(guān)閉,無光闌,中間鏡,（作物鏡用）,投影鏡,第一實(shí)象,（熒光屏）,普查象,圖2-5 極低放大率象,10/22/2024,15,HNU-ZLP,3.顯象部分,這部分由觀察屏和照相機(jī)組成。

11、,觀察屏所在的空間為觀察室。由于觀察屏是用熒光粉制成的，所以常稱觀察屏為熒光屏。觀察屏和照象底板放在投影鏡的象平面上，兩者隔一段距離。由于電鏡的焦深大，盡管觀察屏和照相底板相距十幾個(gè)厘米，在觀察屏上聚好焦后，將屏掀起，在照相底板上照相，象依然清晰。,有些儀器在觀察室與投影鏡之間設(shè)有輔助觀察屏，這個(gè)屏上所成象的亮度為觀察室內(nèi)的二倍，可以用來觀察試樣在電子束輻照下的變化，或用25倍雙筒觀察鏡在此觀察聚焦的情況。,在分析電鏡中，在觀察室和熒光屏之間還裝有探測器，用來收集透射電子和散射電子，以形成與常規(guī)透射電鏡相對(duì)應(yīng)的掃描透射電鏡的暗場象。,在鏡筒之下還有電子能損分析儀。工作時(shí)，衍射束經(jīng)掃描線圈的偏轉(zhuǎn)

12、作用，逐個(gè)掃過入射光闌進(jìn)入電子能量分析儀，不同能量的電子在靜電場或磁場的作用下，產(chǎn)生不同程度的偏轉(zhuǎn)而分散開來。再用能量選擇光闌把不同能量的散射電子挑選出來，經(jīng)探測器轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)放大整理后顯示在現(xiàn)象管的熒光屏上，或用X Y記錄儀描繪下來。,10/22/2024,16,HNU-ZLP,近代電鏡配有電視裝置，這對(duì)動(dòng)態(tài)研究是極為有利的。,二.真空系統(tǒng),為了保證電子在整個(gè)通道中只與樣品發(fā)生相互作用，而不與空氣分子碰撞，因此，整個(gè)電子通道從電子槍至照相底板盒都必須置于真空系統(tǒng)之內(nèi)，一般真空度為 毫米汞柱。,如果真空度不夠，就會(huì)出現(xiàn)下列問題：,1）高壓加不上去,2）成象襯度變差,3）極間放電,4）使

13、鎢絲迅速氧化，縮短壽命,電鏡真空系統(tǒng)一般是由機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵、離子泵、閥門、真空測量儀和管道等部分組成。,10/22/2024,17,HNU-ZLP,三.供電系統(tǒng),透射電鏡需要兩部分電源：一是供給電子槍的高壓部分，二是供給電磁透鏡的低壓穩(wěn)流部分。,電壓的穩(wěn)定性是電鏡性能好壞的一個(gè)極為重要的標(biāo)志。加速電壓和透鏡電流的不穩(wěn)定將使電子光學(xué)系統(tǒng)產(chǎn)生嚴(yán)重象差，從而使分辨本領(lǐng)下降。所以對(duì)供電系統(tǒng)的主要要求是產(chǎn)生高穩(wěn)定的加速電壓和各透鏡的激磁電流。在所有的透鏡中，物鏡激磁電流的穩(wěn)定度要求也最高。,近代儀器除了上述電源部分外，尚有自動(dòng)操作程序控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理的計(jì)算機(jī)系統(tǒng),10/22/2024,18,HNU-

14、ZLP,2.2 透射電鏡的主要性能指標(biāo),分辨率,放大倍數(shù),加速電壓,10/22/2024,19,HNU-ZLP,一.分辨率,分辨率是透射電鏡的最主要性能指標(biāo)，它表征電鏡顯示亞顯微組織、結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)的能力。兩種指標(biāo)：,點(diǎn)分辨率表示電鏡所能分辨的兩點(diǎn)之間的最小距離；,線分辨率表示電鏡所能分辨的兩條線之間的最小距離，通常通過拍攝已知晶體的晶格象來測定，又稱晶格分辨率。,圖26為測量點(diǎn)分辨率和線分辨率的照片。,10/22/2024,20,HNU-ZLP,10/22/2024,21,HNU-ZLP,二、放大倍數(shù),透射電鏡的放大倍數(shù)是指電子圖象對(duì)于所觀察試樣區(qū)的線性放大率。目前高性能透射電鏡的放大倍數(shù)變化范圍

15、為100倍到80萬倍。,10/22/2024,22,HNU-ZLP,三、加速電壓,電鏡的加速電壓是指電子槍的陽極相對(duì)于陰極的電壓，它決定了電子槍發(fā)射的電子的波長和能量。,加速電壓高，電子束對(duì)樣品的穿透能力強(qiáng)，可以觀察較厚的試樣，同時(shí)有利于電鏡的分辨率和減小電子束對(duì)試樣的輻射損傷。,目前普通透射電鏡的最高加速電壓一般為100kV和200kV，通常所說的加速電壓是指可達(dá)到的最高加速電壓。,10/22/2024,23,HNU-ZLP,謝謝觀看,/,歡迎下載,BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT P

16、USHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES.BY FAITH I BY FAITH,內(nèi)容總結(jié),第八章 透射電子顯微鏡。4/21/2022。于加速電壓高，更適合于。加速電壓200KVLaB6燈絲點(diǎn)分辨率 1.94。加速電壓200KVLaB6燈絲點(diǎn)分辨率 1.94。傾轉(zhuǎn)角度=20度=25度。電鏡一般是電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和供電系統(tǒng)三大部分組成。圖2-1 是近代大型電子顯微鏡的剖面示意圖，從結(jié)構(gòu)上看，和。電子束穿過陽極小孔后，又逐漸變粗，射到試樣上仍然過大。試樣臺(tái)承載試樣，移動(dòng)試樣。（2）物鏡：電鏡的最關(guān)鍵的部分，其作用是將來自試樣不同點(diǎn)。信息的散射花樣或衍射花樣。物鏡的最短焦距可達(dá)1毫米，放大倍數(shù)約為300倍，最佳分辨本。在分析電鏡中，使用的皆為雙物鏡加輔助透鏡，試樣置于上下。（3）中間鏡和投影鏡：。中間鏡除了起放大作用外，還起衍射作用。近代電鏡一般都有兩個(gè)中間鏡、兩個(gè)投影鏡。30萬倍以上成象時(shí)，物鏡、兩個(gè)中間鏡和兩個(gè)投影鏡同時(shí)起放大作用。謝謝觀看/歡迎下載,