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1、一、精密工作臺概述1、工作臺的定義 2、工作臺的分類按工作臺所實現(xiàn)運動軌跡在空間的位置來分，有一維工作臺，二維工作臺， 三維工作臺，甚至到六自由度 3、精密工作臺的組成和分類 4、精密工作臺的用途 光刻機 . 精密測量 . 生物芯片技術(shù) 數(shù)控加工精密工作臺是集精密位置檢測技術(shù)、驅(qū)動技術(shù)、直線導(dǎo)向技術(shù)、控制技術(shù)等多項技術(shù)為一體的有機綜合體。在這些技術(shù)中，如果某一個方面得到改進或提高，將使精密工作臺整體性能得到提高。 二、精密工作臺技術(shù)的發(fā)展概況 微納米加工技術(shù)的發(fā)展，離不開精密工作臺技術(shù)的發(fā)展和進步。 主要表現(xiàn)在精度、速度和行程等方面。 在材料、測量技術(shù)、驅(qū)動技術(shù)、控制技術(shù)等方面有了長足的進步，
2、使工作臺朝高精度、高速度、大行程的方向發(fā)展。 1材料 2測量技術(shù) 測量手段主要有光柵測量和激光干涉儀測量。 目前光柵測量的分辨率可達到納米量級，測量精度為土0.01um，測量范圍為100mm。 可實現(xiàn)非接觸測量。 3. 驅(qū)動技術(shù) 驅(qū)動技術(shù)直接決定了工作臺的速度、精度、行程和整個設(shè)備的效率。驅(qū)動技術(shù)有間接驅(qū)動和直接驅(qū)動兩種方式。 間接驅(qū)動方式是驅(qū)動元件通過傳動機構(gòu)驅(qū)動工作臺。這種方式存在的缺點是：傳動鏈較長，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，附加慣量大，剛度低，而且零部件的彈性變形會影響精度，此外，由于摩擦磨損將導(dǎo)致精度漸變等。 驅(qū)動元件常采用直流伺服電機、交流伺服電機，有時也采用步進電機。 直接驅(qū)動方式：即利用電
3、機直接驅(qū)動工作臺，取消電機到工作臺之間的傳動環(huán)節(jié)，使傳動鏈縮短為零，實現(xiàn)“零傳動”。 與間接驅(qū)動方式相比，直接驅(qū)動方式更易于實現(xiàn)高速度和高加速度的運動，同時再配合高精度的導(dǎo)軌就可以實現(xiàn)亞微米和納米級的定位精度。 直接驅(qū)動元件有：直流無刷力矩電機、電磁式直線電機和壓電直線電機。 4. 直線導(dǎo)向技術(shù) 導(dǎo)軌在工作臺中起著承載和導(dǎo)向的作用，決定著工作臺的導(dǎo)向精度、運動軌跡，直接影響著設(shè)備的作圖精度。 常用的導(dǎo)軌有滑動導(dǎo)軌、滾動導(dǎo)軌和靜壓導(dǎo)軌三種。此外，還有兩種新型導(dǎo)軌：柔性鉸鏈和懸浮導(dǎo)軌。 5控制技術(shù) 計算機數(shù)字控制方式。 控制系統(tǒng)主要由主控制系統(tǒng)、運動指令給定系統(tǒng)和位置伺服控制系統(tǒng)等組成。 精密工作臺的控制方式多采用閉環(huán)控制。 三、精密工作臺的結(jié)構(gòu)型式 1、 平面單層式結(jié)構(gòu)機械式 氣浮式 氣浮式 2、雙層結(jié)構(gòu) 3、大行程納米級精密工作臺的實現(xiàn) 4、回轉(zhuǎn)工作臺的實現(xiàn) 四、精密工作臺的設(shè)計 1、精密回轉(zhuǎn)工作臺技術(shù)要求有效負載：不小于4Kg；臺面尺寸：不小于300mm；速率范圍：0.1/s18000/s；速率控制精度：0.1/s0.5%；速率測量精度：高于0.1/s；最大加速度值：18000/s2；位置控制精度：不低于0.02。 L 3600 Larctg
精密工作臺概述
