北京電子顯微鏡實驗室是中國科學(xué)院開放實驗室-物理研究所網(wǎng)上辦公

課題編號 中國科學(xué)院物理研究所微加工實驗室開放課題申請書課題名稱：課題負(fù)責(zé)人姓名 職稱 專業(yè)課題聯(lián)系人姓名工作單位 電話通訊地址 傳真研究起止時間20 年 月 至申請使用的設(shè)備（見填表說明）MA6 （紫外光刻）、EBL （電子束光刻）、FIB （聚焦離子束）、LDR （激光直寫）、RIE （反應(yīng)離子刻蝕）、ICP （電感耦合等離子體反應(yīng)離子刻蝕）、WIREBOND（引線儀）、DEKTAK （臺階儀）、AFM （原子力顯微鏡）、ALD （原子層沉積系統(tǒng)）、TE （熱蒸 發(fā)）、EBD （電子束蒸發(fā)沉積）申請日期中國科學(xué)院物理研究所微加工實驗室20 年 月填表說明： （有關(guān)微加工實驗室的信息可瀏覽微加工實驗室網(wǎng)站： )1 中國科學(xué)院物理所微加工實驗室在包含萬級、 千級和百級的近300 平米超凈實驗室內(nèi)主要裝備了：紫外曝光分辨率優(yōu)于0.5微米的MA放空接觸式雙面掩膜對準(zhǔn)系統(tǒng)（簡稱 MA6;電子束曝光分辨率優(yōu)于20納米、 對準(zhǔn)和拼接精度可達(dá)20 納米的 RAITH 150 電子束直寫系統(tǒng) （簡稱EBL） ；離子束分辨率優(yōu)于10 納米、可輔助沉積或刻蝕的 FEI DB235 聚焦粒子束系統(tǒng)（簡稱FIB ） ；以及與微加工相關(guān)的一系列儀器和裝置，如：反應(yīng)離子刻蝕機(jī)（簡稱PLASMA） 、涂膠系統(tǒng)、熱板及顯影系統(tǒng)、超聲壓焊系統(tǒng)（簡稱WIREBOND表面形貌儀（簡稱 DEKTAK等，還包括各種光刻膠，顯影液，酸堿液，和多種特殊氣體等。其輔助設(shè)備還有：雙探針SEM可實現(xiàn)納米尺度的原位電學(xué)性質(zhì)測量，三靶磁控濺射系統(tǒng)可生長單質(zhì)和化合物薄膜，熱燈絲化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)， 材料敏感特性測試系統(tǒng)和各種電輸運特性測試系統(tǒng)。 20 年 月 日將受理所內(nèi)各課題組的研究人員利用上述微加工實驗室設(shè)備開展研究工 作的開放課題。如要申請開放課題，請?zhí)顚懼袊茖W(xué)院物理研究所微加工實驗室開放課題申請 書。經(jīng)學(xué)委會討論后，如果同意在本室列項，將發(fā)給您開放課題申請批準(zhǔn)通知。開放課題享受 優(yōu)惠的機(jī)時費和微加工實驗室人力配置。2付費方式按實際機(jī)時收費3本申請書所列項目，請實事求是、認(rèn)真填寫，表述明確嚴(yán)謹(jǐn)；4申請課題由本實驗室學(xué)術(shù)委員會討論通過，未批準(zhǔn)者，恕不退還有關(guān)材料。5 申請課題原則上由課題組派一名物理所正式工作人員或研究生來微加工實驗室工作或作為課題聯(lián)系人，如有變動，請通知實驗室改動聯(lián)系人。6請選派有一定研究能力及操作能力的人員來室工作，經(jīng)本室培訓(xùn)合格后方可獨立上機(jī)操作。7 雙方共同享受課題研究成果， 發(fā)表文章請署名中國科學(xué)院物理所微加工實驗室相關(guān)人員和課題組成員所屬單位。8請遵守本室各項規(guī)定，若有違反，將停止執(zhí)行課題，之前費用按成本價計算。9課題的研究期限一般不超過一年，到期自動取消，特殊情況可申請延期。10 申請書請于20 年 月 日前寄電子版至：微加工實驗室 金愛子EMAIL ： azjin ，聯(lián)系電話： 82648198，聯(lián)系地址： C208E 21.研究的目的、意義2.研究內(nèi)容、預(yù)期成果3.工作基礎(chǔ)（包括材料制備及測試條件是否具備）4.有無特殊要求（如要求微加工實驗室協(xié)助材料制備、測試、制光刻版及人員配備等）學(xué)術(shù)委員會意見:主任簽字2008年 月 日