機(jī)電一體化緒論

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機(jī)電一體化緒論

機(jī)電一體化信息科學(xué)機(jī)械學(xué)電子學(xué) SKXT-1200銑鏜鉆機(jī) 床傳動(dòng) 系統(tǒng) 圖 m=3 z=46m=3 z=23m=3 z=58p=12p=12 m=3 z=55d=37 變頻調(diào) 速電機(jī) d=71 m=3 z=23 8 8m=3 z=25 m=3 z=48交流伺服電機(jī)交流伺服電機(jī) 8m=3 z=25 m=3 z=48 8交流伺服電機(jī)回轉(zhuǎn) 工作臺(tái)m=3 z=46 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫。MEMS是美國(guó)的叫法，在日本被稱為微機(jī)械，在歐洲被稱為微系統(tǒng)。MEMS主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細(xì)加工技術(shù)，并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的高科技前沿學(xué)科。

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