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測試計量技術及儀器專業(yè)畢業(yè)論文 [精品論文] 短脈沖及超短脈沖激光硅表面微加工研究
關鍵詞：納秒脈沖激光 飛秒脈沖激光 微加工
摘要：目前激光加工技術已經應用到了生產和生活的許多方面，短脈沖激光有著脈寬相對較窄，平均功率高，重復頻率高，加工效率高，波長短，可以聚焦成較小的光斑實現微米量級的精密加工的特點，在半導體工業(yè)中有著很好的應用前景，超短脈沖激光以其物質移除的質量高、亞微米量級的加工精度、高的深寬比等優(yōu)勢引起國內外研究者的極大興趣，二者有著各自的加工特點和優(yōu)勢。 本文利用波長355nm，脈沖寬度小于40ns，重復頻率為20KHz的納秒激光和波長為775nm，脈沖寬度15
2、0fs，重復頻率為1KHz的飛秒激光在Si表面進行了一系列微結構加工的實驗，分析了納秒脈沖激光和飛秒脈沖激光與物質特別是半導體作用的機制，為納秒脈沖激光與飛秒脈沖激光在Si表面的微加工提供了理論基礎；利用光學顯微鏡，掃描電鏡以及聚焦離子束對加工出的微結構進行了測試，并分析了激光能量、脈沖個數、平臺移動速度以及低能量重復加工等工藝參數對兩種脈沖激光微結構加工效果的影響；實驗中對二者的加工效果進行了比對，說明了兩種脈沖激光各自的加工特點。
正文內容
目前激光加工技術已經應用到了生產和生活的許多方面，短脈沖激光有著脈寬相對較窄，平均功率高，重復頻率高，加工效率高，波長短，可以聚焦
3、成較小的光斑實現微米量級的精密加工的特點，在半導體工業(yè)中有著很好的應用前景，超短脈沖激光以其物質移除的質量高、亞微米量級的加工精度、高的深寬比等優(yōu)勢引起國內外研究者的極大興趣，二者有著各自的加工特點和優(yōu)勢。 本文利用波長355nm，脈沖寬度小于40ns，重復頻率為20KHz的納秒激光和波長為775nm，脈沖寬度150fs，重復頻率為1KHz的飛秒激光在Si表面進行了一系列微結構加工的實驗，分析了納秒脈沖激光和飛秒脈沖激光與物質特別是半導體作用的機制，為納秒脈沖激光與飛秒脈沖激光在Si表面的微加工提供了理論基礎；利用光學顯微鏡，掃描電鏡以及聚焦離子束對加工出的微結構進行了測試，并分析了激光能
4、量、脈沖個數、平臺移動速度以及低能量重復加工等工藝參數對兩種脈沖激光微結構加工效果的影響；實驗中對二者的加工效果進行了比對，說明了兩種脈沖激光各自的加工特點。
目前激光加工技術已經應用到了生產和生活的許多方面，短脈沖激光有著脈寬相對較窄，平均功率高，重復頻率高，加工效率高，波長短，可以聚焦成較小的光斑實現微米量級的精密加工的特點，在半導體工業(yè)中有著很好的應用前景，超短脈沖激光以其物質移除的質量高、亞微米量級的加工精度、高的深寬比等優(yōu)勢引起國內外研究者的極大興趣，二者有著各自的加工特點和優(yōu)勢。 本文利用波長355nm，脈沖寬度小于40ns，重復頻率為20KHz的納秒激光和波長為775nm，
5、脈沖寬度150fs，重復頻率為1KHz的飛秒激光在Si表面進行了一系列微結構加工的實驗，分析了納秒脈沖激光和飛秒脈沖激光與物質特別是半導體作用的機制，為納秒脈沖激光與飛秒脈沖激光在Si表面的微加工提供了理論基礎；利用光學顯微鏡，掃描電鏡以及聚焦離子束對加工出的微結構進行了測試，并分析了激光能量、脈沖個數、平臺移動速度以及低能量重復加工等工藝參數對兩種脈沖激光微結構加工效果的影響；實驗中對二者的加工效果進行了比對，說明了兩種脈沖激光各自的加工特點。
目前激光加工技術已經應用到了生產和生活的許多方面，短脈沖激光有著脈寬相對較窄，平均功率高，重復頻率高，加工效率高，波長短，可以聚焦成較小的光斑實現
6、微米量級的精密加工的特點，在半導體工業(yè)中有著很好的應用前景，超短脈沖激光以其物質移除的質量高、亞微米量級的加工精度、高的深寬比等優(yōu)勢引起國內外研究者的極大興趣，二者有著各自的加工特點和優(yōu)勢。 本文利用波長355nm，脈沖寬度小于40ns，重復頻率為20KHz的納秒激光和波長為775nm，脈沖寬度150fs，重復頻率為1KHz的飛秒激光在Si表面進行了一系列微結構加工的實驗，分析了納秒脈沖激光和飛秒脈沖激光與物質特別是半導體作用的機制，為納秒脈沖激光與飛秒脈沖激光在Si表面的微加工提供了理論基礎；利用光學顯微鏡，掃描電鏡以及聚焦離子束對加工出的微結構進行了測試，并分析了激光能量、脈沖個數、平
7、臺移動速度以及低能量重復加工等工藝參數對兩種脈沖激光微結構加工效果的影響；實驗中對二者的加工效果進行了比對，說明了兩種脈沖激光各自的加工特點。
目前激光加工技術已經應用到了生產和生活的許多方面，短脈沖激光有著脈寬相對較窄，平均功率高，重復頻率高，加工效率高，波長短，可以聚焦成較小的光斑實現微米量級的精密加工的特點，在半導體工業(yè)中有著很好的應用前景，超短脈沖激光以其物質移除的質量高、亞微米量級的加工精度、高的深寬比等優(yōu)勢引起國內外研究者的極大興趣，二者有著各自的加工特點和優(yōu)勢。 本文利用波長355nm，脈沖寬度小于40ns，重復頻率為20KHz的納秒激光和波長為775nm，脈沖寬度150f
8、s，重復頻率為1KHz的飛秒激光在Si表面進行了一系列微結構加工的實驗，分析了納秒脈沖激光和飛秒脈沖激光與物質特別是半導體作用的機制，為納秒脈沖激光與飛秒脈沖激光在Si表面的微加工提供了理論基礎；利用光學顯微鏡，掃描電鏡以及聚焦離子束對加工出的微結構進行了測試，并分析了激光能量、脈沖個數、平臺移動速度以及低能量重復加工等工藝參數對兩種脈沖激光微結構加工效果的影響；實驗中對二者的加工效果進行了比對，說明了兩種脈沖激光各自的加工特點。
目前激光加工技術已經應用到了生產和生活的許多方面，短脈沖激光有著脈寬相對較窄，平均功率高，重復頻率高，加工效率高，波長短，可以聚焦成較小的光斑實現微米量級的精密加
9、工的特點，在半導體工業(yè)中有著很好的應用前景，超短脈沖激光以其物質移除的質量高、亞微米量級的加工精度、高的深寬比等優(yōu)勢引起國內外研究者的極大興趣，二者有著各自的加工特點和優(yōu)勢。 本文利用波長355nm，脈沖寬度小于40ns，重復頻率為20KHz的納秒激光和波長為775nm，脈沖寬度150fs，重復頻率為1KHz的飛秒激光在Si表面進行了一系列微結構加工的實驗，分析了納秒脈沖激光和飛秒脈沖激光與物質特別是半導體作用的機制，為納秒脈沖激光與飛秒脈沖激光在Si表面的微加工提供了理論基礎；利用光學顯微鏡，掃描電鏡以及聚焦離子束對加工出的微結構進行了測試，并分析了激光能量、脈沖個數、平臺移動速度以及低
10、能量重復加工等工藝參數對兩種脈沖激光微結構加工效果的影響；實驗中對二者的加工效果進行了比對，說明了兩種脈沖激光各自的加工特點。
目前激光加工技術已經應用到了生產和生活的許多方面，短脈沖激光有著脈寬相對較窄，平均功率高，重復頻率高，加工效率高，波長短，可以聚焦成較小的光斑實現微米量級的精密加工的特點，在半導體工業(yè)中有著很好的應用前景，超短脈沖激光以其物質移除的質量高、亞微米量級的加工精度、高的深寬比等優(yōu)勢引起國內外研究者的極大興趣，二者有著各自的加工特點和優(yōu)勢。 本文利用波長355nm，脈沖寬度小于40ns，重復頻率為20KHz的納秒激光和波長為775nm，脈沖寬度150fs，重復頻率為1
11、KHz的飛秒激光在Si表面進行了一系列微結構加工的實驗，分析了納秒脈沖激光和飛秒脈沖激光與物質特別是半導體作用的機制，為納秒脈沖激光與飛秒脈沖激光在Si表面的微加工提供了理論基礎；利用光學顯微鏡，掃描電鏡以及聚焦離子束對加工出的微結構進行了測試，并分析了激光能量、脈沖個數、平臺移動速度以及低能量重復加工等工藝參數對兩種脈沖激光微結構加工效果的影響；實驗中對二者的加工效果進行了比對，說明了兩種脈沖激光各自的加工特點。
目前激光加工技術已經應用到了生產和生活的許多方面，短脈沖激光有著脈寬相對較窄，平均功率高，重復頻率高，加工效率高，波長短，可以聚焦成較小的光斑實現微米量級的精密加工的特點，在半導
12、體工業(yè)中有著很好的應用前景，超短脈沖激光以其物質移除的質量高、亞微米量級的加工精度、高的深寬比等優(yōu)勢引起國內外研究者的極大興趣，二者有著各自的加工特點和優(yōu)勢。 本文利用波長355nm，脈沖寬度小于40ns，重復頻率為20KHz的納秒激光和波長為775nm，脈沖寬度150fs，重復頻率為1KHz的飛秒激光在Si表面進行了一系列微結構加工的實驗，分析了納秒脈沖激光和飛秒脈沖激光與物質特別是半導體作用的機制，為納秒脈沖激光與飛秒脈沖激光在Si表面的微加工提供了理論基礎；利用光學顯微鏡，掃描電鏡以及聚焦離子束對加工出的微結構進行了測試，并分析了激光能量、脈沖個數、平臺移動速度以及低能量重復加工等工
13、藝參數對兩種脈沖激光微結構加工效果的影響；實驗中對二者的加工效果進行了比對，說明了兩種脈沖激光各自的加工特點。
目前激光加工技術已經應用到了生產和生活的許多方面，短脈沖激光有著脈寬相對較窄，平均功率高，重復頻率高，加工效率高，波長短，可以聚焦成較小的光斑實現微米量級的精密加工的特點，在半導體工業(yè)中有著很好的應用前景，超短脈沖激光以其物質移除的質量高、亞微米量級的加工精度、高的深寬比等優(yōu)勢引起國內外研究者的極大興趣，二者有著各自的加工特點和優(yōu)勢。 本文利用波長355nm，脈沖寬度小于40ns，重復頻率為20KHz的納秒激光和波長為775nm，脈沖寬度150fs，重復頻率為1KHz的飛秒激光
14、在Si表面進行了一系列微結構加工的實驗，分析了納秒脈沖激光和飛秒脈沖激光與物質特別是半導體作用的機制，為納秒脈沖激光與飛秒脈沖激光在Si表面的微加工提供了理論基礎；利用光學顯微鏡，掃描電鏡以及聚焦離子束對加工出的微結構進行了測試，并分析了激光能量、脈沖個數、平臺移動速度以及低能量重復加工等工藝參數對兩種脈沖激光微結構加工效果的影響；實驗中對二者的加工效果進行了比對，說明了兩種脈沖激光各自的加工特點。
目前激光加工技術已經應用到了生產和生活的許多方面，短脈沖激光有著脈寬相對較窄，平均功率高，重復頻率高，加工效率高，波長短，可以聚焦成較小的光斑實現微米量級的精密加工的特點，在半導體工業(yè)中有著很好
15、的應用前景，超短脈沖激光以其物質移除的質量高、亞微米量級的加工精度、高的深寬比等優(yōu)勢引起國內外研究者的極大興趣，二者有著各自的加工特點和優(yōu)勢。 本文利用波長355nm，脈沖寬度小于40ns，重復頻率為20KHz的納秒激光和波長為775nm，脈沖寬度150fs，重復頻率為1KHz的飛秒激光在Si表面進行了一系列微結構加工的實驗，分析了納秒脈沖激光和飛秒脈沖激光與物質特別是半導體作用的機制，為納秒脈沖激光與飛秒脈沖激光在Si表面的微加工提供了理論基礎；利用光學顯微鏡，掃描電鏡以及聚焦離子束對加工出的微結構進行了測試，并分析了激光能量、脈沖個數、平臺移動速度以及低能量重復加工等工藝參數對兩種脈沖
16、激光微結構加工效果的影響；實驗中對二者的加工效果進行了比對，說明了兩種脈沖激光各自的加工特點。
目前激光加工技術已經應用到了生產和生活的許多方面，短脈沖激光有著脈寬相對較窄，平均功率高，重復頻率高，加工效率高，波長短，可以聚焦成較小的光斑實現微米量級的精密加工的特點，在半導體工業(yè)中有著很好的應用前景，超短脈沖激光以其物質移除的質量高、亞微米量級的加工精度、高的深寬比等優(yōu)勢引起國內外研究者的極大興趣，二者有著各自的加工特點和優(yōu)勢。 本文利用波長355nm，脈沖寬度小于40ns，重復頻率為20KHz的納秒激光和波長為775nm，脈沖寬度150fs，重復頻率為1KHz的飛秒激光在Si表面進行了
17、一系列微結構加工的實驗，分析了納秒脈沖激光和飛秒脈沖激光與物質特別是半導體作用的機制，為納秒脈沖激光與飛秒脈沖激光在Si表面的微加工提供了理論基礎；利用光學顯微鏡，掃描電鏡以及聚焦離子束對加工出的微結構進行了測試，并分析了激光能量、脈沖個數、平臺移動速度以及低能量重復加工等工藝參數對兩種脈沖激光微結構加工效果的影響；實驗中對二者的加工效果進行了比對，說明了兩種脈沖激光各自的加工特點。
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短脈沖及超短脈沖激光硅表面微加工研究
